產(chǎn)品詳情
高溫爐真空系統(tǒng) 快速脫氧除雜方案 | 極限真空10?? mbar | 支持氬氣保護(hù)工藝
應(yīng)用場(chǎng)景：為高溫工業(yè)爐工藝賦能
普旭（Busch）單級(jí)油式真空泵專為工業(yè)爐高溫精密工藝設(shè)計(jì)，適配以下核心場(chǎng)景：
?金屬熱處理：真空退火、淬火工藝，快速脫氧除雜，消除材料氧化缺陷。
?陶瓷/碳素?zé)Y(jié)：高溫爐內(nèi)雜質(zhì)氣體抽排，提升材料致密性與純度。
? 半導(dǎo)體材料制備：硅晶圓、靶材燒結(jié)，支持氬氣/氮?dú)獗Ｗo(hù)氣氛控制。
?粉末冶金：金屬粉末成型燒結(jié)，避免微孔殘留氣體，保障成品強(qiáng)度。
核心特點(diǎn)：極限真空+工藝適配
1. 極限真空性能
- 超高真空度：?jiǎn)伪脴O限真空可達(dá)10?? mbar，滿足嚴(yán)苛工藝氣體環(huán)境需求。
- 快速抽氣能力：30分鐘內(nèi)從常壓抽至10?3 mbar級(jí)，縮短爐內(nèi)預(yù)處理周期50%+。
2. 高溫氣體適配性
- 耐高溫設(shè)計(jì)：
? 泵體采用耐熱合金+水冷夾套，耐受爐口高溫輻射（≤150℃）；
? 專用高溫真空油，長(zhǎng)期運(yùn)行無碳化風(fēng)險(xiǎn)。
- 氬氣/氮?dú)饧嫒荩簝?yōu)化氣體回收系統(tǒng)，惰性氣體循環(huán)利用率＞85%，降低工藝成本。
3. 智能工藝集成
- 多模式控制：
? 真空度-溫度聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，適配階梯式升溫工藝；
? 可選配PLC/SCADA接口，無縫接入工業(yè)爐自動(dòng)化產(chǎn)線。
- 雜質(zhì)過濾系統(tǒng)：
? 前置旋風(fēng)分離+后端分子篩吸附，攔截99%粉塵與揮發(fā)物；
? 自動(dòng)反吹清潔功能，減少人工維護(hù)頻率。
性能優(yōu)勢(shì)對(duì)比
行業(yè)適配案例
傳統(tǒng)系統(tǒng)痛點(diǎn)
普旭解決方案
用戶收益
真空度不足導(dǎo)致材料氧化
極限真空10?? mbar，氧含量＜5 ppm
產(chǎn)品合格率提升至99%+
高溫工況泵體壽命短
耐熱合金+水冷設(shè)計(jì)，MTBF≥20,000小時(shí)
設(shè)備綜合壽命延長(zhǎng)60%
惰性氣體消耗成本高
氬氣回收系統(tǒng)，氣體補(bǔ)充量減少70%
年工藝成本降低45萬+
粉塵堆積引發(fā)故障
三級(jí)過濾+自動(dòng)反吹，停機(jī)率下降90%
維護(hù)成本減少50%
-碳化硅陶瓷燒結(jié)：爐內(nèi)雜質(zhì)氣體抽排效率提升3倍，產(chǎn)品密度達(dá)理論值98%。
- 半導(dǎo)體靶材制備：氬氣保護(hù)下高純度鉬靶材燒結(jié)，氧含量控制在10 ppm以下。
- 磁性材料生產(chǎn)：釹鐵硼真空燒結(jié)，磁能積（BH）max提升15%。
普旭單級(jí)油式真空泵以 “極限真空+高溫適配” 重新定義工業(yè)爐工藝標(biāo)準(zhǔn)：
- 精密可控：10?? mbar級(jí)真空環(huán)境，徹底消除氧化與雜質(zhì)干擾；
- 高效節(jié)能：氬氣循環(huán)利用+智能抽氣策略，綜合能耗降低30%；
- 可靠耐用：耐高溫設(shè)計(jì)+自清潔系統(tǒng)，保障連續(xù)生產(chǎn)零故障。
