產品詳情
產品特點:
支持多20路實時測量晶圓溫度;
溫度均勻性實時曲線圖和數值顯示;
采集數據Excel表格導出,并生成報表;
晶圓溫點分布直觀顯示并自動生成校準報告;
可快速更換TC-wafer及自定義功能;
大屏高分辨率顯示;
數據多采集10次/;
65瓦Type-C快速充電;
內置大容量電池,使用可達4小時;
10000條數據存儲量;
支持多種傳輸方式,如U盤、藍牙、無線網絡;
便攜一體化設計;
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TC-Wafer校準儀 快速退火爐溫場均勻性校準 產品應用:
RTP設備生產廠家
使用RTP設備客戶
TC-wafer生產廠家
其他晶圓熱處理設備