機(jī)電之家 > 機(jī)電號 > 正文 申請入駐

液體質(zhì)量流量計(jì):半導(dǎo)體超聲波噴涂工藝的“精密脈搏守護(hù)者”

在追求精度與微觀控制的半導(dǎo)體制造王國中,每一項(xiàng)工藝都如同精密的瑞士鐘表,容不得絲毫偏差。超聲波噴涂技術(shù),憑借其能產(chǎn)生極其均勻、微細(xì)液滴的能力,已成為光刻膠涂覆、薄膜沉積、晶圓封裝等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的寵兒。然而,這項(xiàng)優(yōu)雅技術(shù)的背后,潛藏著一個(gè)核心挑戰(zhàn):如何對微量噴涂液體實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、直接、高精度的質(zhì)量流量控制?這正是層流壓差式液體質(zhì)量流量計(jì)大放異彩的舞臺(tái)。

在半導(dǎo)體超聲波噴涂設(shè)備中,層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)被戰(zhàn)略性地安裝在霧化噴頭前的供液管路上,如同為工藝裝上了“智能流量閥門”:

“穩(wěn)”字當(dāng)頭,厚度無憂: 實(shí)時(shí)、高精度的質(zhì)量流量反饋,形成閉環(huán)控制系統(tǒng)。它能瞬間感知并修正任何供液波動(dòng),確保抵達(dá)超聲波霧化片的液體質(zhì)量流量恒定如磐石。這是獲得納米級均勻涂層厚度的基石。想象一下在12英寸晶圓上噴涂僅幾微米厚的光刻膠——任何微小的流量漂移都可能導(dǎo)致災(zāi)難性的缺陷。

“省”見真章,成本可控: 直接測量質(zhì)量流量,不受環(huán)境溫度、壓力或流體批次密度微小差異的影響。這意味著工藝配方設(shè)定的是確切需要的材料質(zhì)量,而非體積,消除了因密度變化導(dǎo)致的過量噴涂或不足,顯著減少昂貴化學(xué)品的浪費(fèi)。

“快”速響應(yīng),動(dòng)態(tài)無憂: 層流壓差原理響應(yīng)速度極快。當(dāng)設(shè)備進(jìn)行掃描噴涂、啟停噴涂或需要快速改變流量設(shè)定時(shí),流量計(jì)能近乎同步地提供反饋,控制系統(tǒng)得以快速調(diào)整,保證動(dòng)態(tài)噴涂過程的均勻性,避免過噴或欠噴區(qū)域。

“靈”敏預(yù)警,防患未然: 流量計(jì)的實(shí)時(shí)讀數(shù)也是工藝健康的“聽診器”。流量異常往往是噴嘴開始輕微堵塞、供液管路泄漏或過濾器飽和的早期預(yù)警信號。操作員或設(shè)備管理系統(tǒng)可及時(shí)介入維護(hù),避免因噴嘴堵塞導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷或批次報(bào)廢。

“簡”化工藝,重復(fù)可靠: 直接的質(zhì)量流量控制簡化了工藝參數(shù)的設(shè)定和轉(zhuǎn)移。工程師不再需要為不同溫度或不同批次密度的液體反復(fù)調(diào)整體積流量參數(shù),大大提高了設(shè)備間和批次間的工藝重復(fù)性和再現(xiàn)性,為大規(guī)模穩(wěn)定量產(chǎn)保駕護(hù)航。

應(yīng)用場景廣泛

其價(jià)值貫穿半導(dǎo)體制造:

光刻: 精確控制光刻膠噴涂,保障線寬均勻性。

晶圓級封裝 (WLP): 精準(zhǔn)噴涂底部填充膠、鍵合膠等。

薄膜沉積: 控制噴涂前驅(qū)體溶液,管理薄膜生長。

功能涂層: 噴涂疏水層、抗反射層等。

在半導(dǎo)體制造向著更小節(jié)點(diǎn)、更復(fù)雜結(jié)構(gòu)、更高良率不斷進(jìn)軍的道路上,每一項(xiàng)微觀精度的提升都依賴于基礎(chǔ)控制的突破。層流壓差式液體質(zhì)量流量計(jì),以其基于物理本質(zhì)的直接質(zhì)量測量原理、高精度、快速的響應(yīng)和出色的穩(wěn)定性,契合了超聲波噴涂技術(shù)對微量液體控制的苛刻需求。它默默無聞地工作在供液管路中,如同一位精準(zhǔn)而忠誠的脈搏守護(hù)者,持續(xù)輸送著穩(wěn)定的“生命液流”,確保每一片晶圓、每一層薄膜都獲得無瑕的涂層。它不僅是提升工藝性能的關(guān)鍵器件,更是降低生產(chǎn)成本、保障良率、推動(dòng)半導(dǎo)體制造持續(xù)精進(jìn)的幕后功臣。

特別聲明:以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺(tái)“機(jī)電號”用戶上傳并發(fā)布,本平臺(tái)僅提供信息存儲(chǔ)服務(wù)

Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of JDZJ Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.

/企業(yè)主營產(chǎn)品/
P450--易度智能便攜式手持環(huán)保校準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量計(jì) ¥8888.00
P400--手持便攜式環(huán)保校準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量計(jì)易度智能 ¥8888.00
P300--易度智能手持便攜式環(huán)保校準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量計(jì) ¥8888.00
EC450--易度智能高精度高性價(jià)比質(zhì)量流量控制器MFC ¥8888.00
/閱讀下一篇/

礦難應(yīng)急必備礦用避難硐室配件如何構(gòu)建黃金

相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦
礦用氣動(dòng)隔膜泵防爆耐磨免維護(hù)礦山輸送更省心

礦用氣動(dòng)隔膜泵防爆耐磨免維護(hù)礦山輸送更省心

山東邦泰機(jī)電設(shè)備有限公司
2025/6/30 17:09:58
實(shí)例解析:糧油食品倉儲(chǔ)RFID高效管理方案

實(shí)例解析:糧油食品倉儲(chǔ)RFID高效管理方案

斯科信息
2025/6/30 15:05:25
醫(yī)院布草管理RFID解決方案

醫(yī)院布草管理RFID解決方案

斯科信息
2025/6/30 14:55:16
4S店看過來:斯科提出基于RFID技術(shù)的維修工器具智能化管理解決方案

4S店看過來:斯科提出基于RFID技術(shù)的維修工器具智能化管理解決方案

斯科信息
2025/6/30 14:47:35
集成式自動(dòng)化洗滌流水線:工業(yè)洗滌設(shè)備的效率革命

集成式自動(dòng)化洗滌流水線:工業(yè)洗滌設(shè)備的效率革命

廣州力凈智能科技有限公司
2025/6/30 11:06:13
洗衣房一般需要什么洗滌設(shè)備

洗衣房一般需要什么洗滌設(shè)備

廣州力凈智能科技有限公司
2025/6/30 11:02:01
榕江縣特大洪水引社會(huì)關(guān)注,森派護(hù)欄引用新聞材料做個(gè)總結(jié)

榕江縣特大洪水引社會(huì)關(guān)注,森派護(hù)欄引用新聞材料做個(gè)總結(jié)

安平縣森派金屬制品有限公司
2025/6/30 10:59:14
工業(yè)洗衣機(jī)和家用洗衣機(jī)區(qū)別:從參數(shù)到場景的深度解析

工業(yè)洗衣機(jī)和家用洗衣機(jī)區(qū)別:從參數(shù)到場景的深度解析

廣州力凈智能科技有限公司
2025/6/30 10:58:59
河南某知名商超安防煥新!攜手??滴乃袾VR,樹立行業(yè)安全運(yùn)營新標(biāo)桿!

河南某知名商超安防煥新!攜手海康文搜NVR,樹立行業(yè)安全運(yùn)營新標(biāo)桿!

北京佳惠信達(dá)科技有限公司
2025/6/30 10:07:52
環(huán)保行業(yè)動(dòng)態(tài):政策引領(lǐng)新變革,技術(shù)驅(qū)動(dòng)新發(fā)展

環(huán)保行業(yè)動(dòng)態(tài):政策引領(lǐng)新變革,技術(shù)驅(qū)動(dòng)新發(fā)展

上海爾奚環(huán)??萍加邢薰?/span>
2025/6/30 10:03:49
適合用于食品機(jī)械,注塑成型機(jī)的電磁式安全開關(guān)

適合用于食品機(jī)械,注塑成型機(jī)的電磁式安全開關(guān)

廣州德蒙工業(yè)自動(dòng)化控制有限公司
2025/6/30 9:32:02
華東磁懸浮風(fēng)機(jī)在水泥行業(yè)的應(yīng)用

華東磁懸浮風(fēng)機(jī)在水泥行業(yè)的應(yīng)用

山東華東風(fēng)機(jī)有限公司
2025/6/28 17:35:55
瓷磚背涂膠經(jīng)歷了幾代變化

瓷磚背涂膠經(jīng)歷了幾代變化

河南顧家建材有限公司
2025/6/28 17:08:41
三相異步電機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些

三相異步電機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些

新鄉(xiāng)市濱河電機(jī)有限公司
2025/6/28 14:53:13
IP2727_Q1至為芯用于車載USB充電輸出的車規(guī)級快充協(xié)議芯片

IP2727_Q1至為芯用于車載USB充電輸出的車規(guī)級快充協(xié)議芯片

深圳市至為芯科技有限公司
2025/6/28 11:43:25
孔
易度智能流量計(jì)流量控制器
9文章數(shù) 191關(guān)注度
往期回顧 全部

電工電氣相關(guān)熱點(diǎn)

AI提升化工液體加工效率解決方案

電工電氣相關(guān)推薦

格雷希爾C9系列多路快速接頭組合板,同時(shí)實(shí)現(xiàn)液路、氣路、電路等多個(gè)管路的快速連接

頭條要聞

220005 液壓油濾清器:工業(yè)液壓系統(tǒng)的高效保護(hù)

電工電氣要聞

火力發(fā)電燃燒效率的數(shù)字哨兵—氧化鋯分析儀的應(yīng)用與效能解析

電工電氣資訊

礦用風(fēng)動(dòng)裝藥器技術(shù)解析氣壓輸送系統(tǒng)的精準(zhǔn)裝藥應(yīng)用

往期電工電氣要聞

遼寧移動(dòng)數(shù)據(jù)中心電力保障新方案:AM5-DB 備自投 + 監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)戰(zhàn)落地