產(chǎn)品詳情
簡單可靠的氣體分析解決方案
在線氣體分析系統(tǒng)
內(nèi)置四級質(zhì)譜儀
四級質(zhì)譜過程分析是對各類氣相分子能精確定性定量檢測的一種快速、靈敏和可靠的方法，可以快速解決客戶各種繁雜氣體分析測試的問題。
ACT公司過程氣體分析儀集高靈敏度、高穩(wěn)定性和智能操作于一體，是質(zhì)譜技術(shù)真空分析的完美解決方案。
ACT的創(chuàng)新技術(shù)旨在大幅提高氣體過程檢測分析儀的易用性、性能和可靠性，使您高枕無憂，代表了我們持久專注氣體快速分析的技術(shù)的新成果。
PGA是一種理想的解決方案，可用于從質(zhì)量控制、泄漏檢測 和對復雜的殘余氣體的定性定量分析任務(wù)。
高靈敏度、高穩(wěn)定性和智能操作
清晰易讀的平臺化軟件
模塊化設(shè)計
PGA是一種理想的解決方案，可用于從質(zhì)量控制、泄漏檢測 和對復雜的殘余氣體的定性定量分析任務(wù)。
現(xiàn)成的應(yīng)用程序，將質(zhì)譜儀連接到您的 PLC
我們擁有多年的客戶積淀和應(yīng)用經(jīng)驗
■ 長壽命雙燈絲結(jié)構(gòu)
■ 可探測分壓 3 ·10-15 hPa (mbar)
■ 內(nèi)置全量程真空計，易于測量總壓力
■ 軟件操作直觀，節(jié)省時間
■ 全面的技術(shù)支持和全球統(tǒng)一的現(xiàn)場服務(wù)
■ JSON 編程界面易于系統(tǒng)集成 PV MassSpec 測量程序
簡單可靠的氣體分析解決方案
在線氣體分析系統(tǒng)
內(nèi)置四級質(zhì)譜儀
■ 用戶友好、操作直觀
■ 通過內(nèi)置程序進行自動測量
■ 只需單擊即可進行泄漏檢測和真空診斷
■ 自動校準和調(diào)整
■ 簡單定義的測量方式
■ 質(zhì)譜儀數(shù)據(jù)可以鏈接外部信號
成功的氣體分析解決方案很大程度上取決于應(yīng)用條件。以下是幾種常見應(yīng)用以及可獲得超高可靠性
結(jié)果的理想配置解決方案示例。
特種氣體分析
-高真空環(huán)境過程測試
-泄漏分析
-特氣鋼瓶除雜監(jiān)控
-清洗工藝監(jiān)控
半導體過程分析
適配用于 MBE、Coating、PVD 等半導體工藝的過程監(jiān)控器。
- 化學氣相反應(yīng);
- 腔體泄漏分析;
- 鑒別痕量污染物;
- 滲透率測試;
殘余氣體分析
-高真空腔體分析檢測
-大小型真空室的本底氣體分析
-高真空除雜殘余氣氛測試
技術(shù)參數(shù)
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測量范圍 |
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測量范圍 |
from 1 to 100amu (200/300可選) |
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| 進樣系統(tǒng) | 真空法蘭，進樣管等 | |||||||
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真空法蘭 |
CF35 |
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可配置入口腔體和對接波紋管 |
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輔熱（選配） |
200/350℃輔熱 |
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質(zhì)譜儀 |
PGA F1 |
PGA F2 |
PGA F3 |
PGA M1 |
PGA M2 |
PGA M3 |
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檢測器 |
Faraday (F) |
C-SEM/Faraday (M) |
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質(zhì)量范圍 |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
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四極桿 直徑/長度 |
6 mm / 125 mm |
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最小可檢測分壓, Faraday3) 4 · 10- 13 hPa |
5 · 10- 13 hPa |
7 · 10- 13 hPa |
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最小可檢測分壓, C-SEM3)4) – |
– |
– |
3 · 10- 15 hPa |
4 · 10- 15 hPa |
5 · 10- 15 hPa |
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Ar 靈敏度, Faraday5) 5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
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最大操作壓力, Faraday operation |
5 · 10-4 hPa |
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最大操作壓力, C-SEM operation – |
– |
– |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
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相鄰質(zhì)量干擾 (40/41) < 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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最大工作溫度, 分析單元 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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工作溫度, electronics |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度, analyzer |
300 °C |
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對接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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分辨率在10 %峰高處 |
0.5 – 2.5 u |
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掃描速度 |
1 ms – 16 s/u |
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峰值比重現(xiàn)性 |
± 0.5 % |
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通訊接口 |
Ethernet |
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供電 |
100–240 V AC, 50/60 Hz |
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PGA |
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全重 |
6 - 12 kg |
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尺寸 |
550*210*270（L*W*H） |
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分子泵（選配） |
67 L/s (N2) |
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應(yīng)用咨詢和服務(wù)
應(yīng)用咨詢
ACT應(yīng)用工程師將分析您的應(yīng)用并就如何優(yōu)化氣體分析測試給出建議
服務(wù)和支持選項
ACT擁有由專業(yè)服務(wù)人員組成的全球網(wǎng)絡(luò)資源以及各種支持選項
– 實現(xiàn)您的需求
– 提高工作效率
– 確保您的儀器完全滿足各種復雜的應(yīng)用
完 整 的 氣 體 分 析測 試 解 決 方 案
ACT 真 空 代 表 全 球 創(chuàng) 新 和 定 制 的 氣體分析測 試 解 決 方 案 ， 技 術(shù) 完 美 ， 合 理 的 建 議 和 可 靠 的 服 務(wù)
氣 體 分 析 產(chǎn) 品 全 覆 蓋
我 們 擁 有 從 質(zhì) 譜 色 譜 到 光 譜 的 所 有 產(chǎn) 品 和 解 決 方 案 ， 解決您多重復雜氣體和復雜環(huán)境中的氣體分析，匹配于廣泛的氣體分析測試應(yīng)用環(huán)節(jié)。
理 論 和 實 踐 能 力
受 益 于 我 們的 專 業(yè) 知 識 和 我 們 的 培 訓 ！ 我 們 支 持 您 的 氣 提 分 析 ， 并 為 您 提 供 一 流 的 現(xiàn) 場 服 務(wù)。
